发明名称 Procedimiento para la deposición de un silicio policristalino
摘要 Procedimiento para la producción de un silicio policristalino, en el que un gas de reacción que contiene hidrógenoy un gas que contiene silicio se introducen en un recinto de reacción, y el gas que contiene silicio se descomponetérmicamente en presencia de silicio calentado, y se deposita sobre el silicio, resultando un gas de salida, y este gasde salida se separa en una primera fracción del gas de salida que comprende triclorosilano y unos clorosilanos quehierven a temperaturas más bajas que el triclorosilano, y en una segunda fracción del gas de salida que comprendeunos componentes que hierven a temperaturas más altas que el triclorosilano, y la primera fracción del gas de salidase aporta al gas de reacción de una deposición de silicio policristalino, y la segunda fracción del gas de salida sesepara en tetraclorosilano y en una fracción de compuestos que hierven a altas temperaturas, que se compone decompuestos que hierven a altas temperaturas y eventualmente de tetraclorosilano, caracterizado porque la fracciónde compuestos que hierven a altas temperaturas se aporta al gas de reacción en un reactor de Siemens y el gas dereacción se calienta a una temperatura de 300-590°C, teniendo las barras de silicio, al realizar la conversión químicade los gases de reacción que contienen compuestos que hierven a altas temperaturas, una temperatura de 900 a1.413°C.
申请公布号 ES2388366(T3) 申请公布日期 2012.10.11
申请号 ES20090150271T 申请日期 2009.01.09
申请人 WACKER CHEMIE AG 发明人 HESSE, KARL;SCHREIEDER, FRANZ
分类号 C01B33/035 主分类号 C01B33/035
代理机构 代理人
主权项
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