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发明名称 PROCESS FOR PRODUCING SINGLE-CRYSTAL ALUMINUM NITRIDE
摘要
申请公布号 KR20120112436(A) 申请公布日期 2012.10.11
申请号 KR20127014026 申请日期 2010.11.29
申请人 TOKUYAMA CORPORATION;TOHOKU UNIVERSITY 发明人 FUKUYAMA HIROYUKI;AZUMA MASANOBU;TAKADA KAZUYA;HATTORI TAKESHI
分类号 C30B29/38;C30B25/02 主分类号 C30B29/38
代理机构 代理人
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