光学元件Z、tip、tilt三自由度微动调整装置

摘要

光学元件Z、tip、tilt三自由度微动调整装置，属于深紫外投影光刻物镜装调补偿领域，为解决光刻投影物镜光学元件Z、tip、tilt三自由度高精度调整问题，本发明装置包括镜框、镜筒、三个运动支链和三对双电容传感器；镜框和镜筒通过三个运动支链连接；每个运动支链均由柔性球铰、驱动器和单轴柔性铰链组成，驱动器位于柔性球铰的下面，单轴柔性铰链位于驱动器下面，三个运动支链沿周向间隔120°均匀分布；每对双电容传感器的上电极板和下电极板分别固定在镜框和镜筒上，且三对双电容传感器周向间隔120°均匀分布，本发明基于3-RPS机构，能够实现光学元件的Z、tip、tilt三自由度精密微动调整。

主权项

光学元件Z、tip、tilt三自由度微动调整装置，包括镜框（1）、镜筒（2）、三个运动支链（3）和三对双电容传感器（4），其特征在于，所述镜框（1）和镜筒（2）通过三个运动支链（3）连接；所述每个运动支链（3）均由柔性球铰（3‑1）、驱动器（3‑2）和单轴柔性铰链（3‑3）组成，驱动器（3‑2）位于柔性球铰（3‑1）的下面，单轴柔性铰链（3‑3）位于驱动器（3‑2）下面，三个运动支链（3）沿周向间隔120°均匀分布；每对双电容传感器（4）的上电极板（4‑1）和下电极板（4‑2）分别固定在镜框（1）和镜筒（2）上，且三对双电容传感器（4）周向间隔120°均匀分布。