直拉法生长单晶硅用硅籽晶夹持器

摘要

本实用新型公开了一种直拉法生长单晶硅用硅籽晶夹持器，其包括主要由连杆、钼重锤和籽晶夹头组成的籽晶夹持器本体，所述连杆设于钼重锤的上端，籽晶夹头设于钼重锤的下端，所述籽晶夹头内设有一上下贯通且与所夹持籽晶外形对应的空腔，所述籽晶夹头上设有一横向贯穿的排气孔。本实用新型籽晶夹持器采用大小头籽晶，籽晶即可牢固地固定在籽晶夹持器中不会脱落，籽晶受力均匀、承重量大、不易断裂，能确保单晶生长过程顺利完成；降低了生产成本，提高硅单晶的生产效率，籽晶夹头上有排气孔，装籽晶时封闭在夹持器中的空气，单晶炉抽空时能够排除，消除了安全隐患。

主权项

一种直拉法生长单晶硅用硅籽晶夹持器，包括主要由连杆、钼重锤和籽晶夹头组成的籽晶夹持器本体，其特征在于：所述连杆设于钼重锤的上端，籽晶夹头设于钼重锤的下端，所述籽晶夹头内设有一上下贯通且与所夹持籽晶外形对应的空腔，所述籽晶夹头上设有一横向贯穿的排气孔。