高温石英膜氦质谱漏孔

摘要

本发明公开了一种高温石英膜氦质谱漏孔的生产方法，先把石英薄膜与硬质玻璃外壳封接成一整体并形成腔体，并在硬质玻璃外壳上保留工艺充气孔；然后在气压小于0.6个大气压的低压环境中，通过工艺充气孔向腔体内冲入高纯氦气；在所述的低压状况下，熔融硬质玻璃外壳上的工艺充气孔，使低压氦气保留在石英薄膜与硬质玻璃外壳之间的腔体内。本发明结构、制造工艺简单，采用低压高纯度氦气填充工艺，克服了传统石英膜氦气标准漏孔只能在室温下使用的缺陷，可以在高温工况下对氦质谱漏率进行标定，本发明专利特别适用于制造高温工况下使用的石英膜氦质谱漏孔。

主权项

高温石英膜氦质谱漏孔的生产方法，其特征在于：先把石英薄膜与硬质玻璃外壳封接成一整体并形成腔体，并在硬质玻璃外壳上保留工艺充气孔；然后在气压小于0.6个大气压的低压环境中，通过工艺充气孔向腔体内充入高纯氦气；在所述的低压状况下，熔融硬质玻璃外壳上的工艺充气孔，使低压氦气保留在石英薄膜与硬质玻璃外壳之间的腔体内。