发明名称 |
可检测挠曲力量与电性的夹具 |
摘要 |
本发明涉及一种可检测挠曲力量与电性的夹具,用于夹持一基板,该夹具包含:一基座;一夹持头,固定于该基座,该夹持头由一夹持片以及与该夹持片结合的一固定片所组成;以及,至少一力量感测单元,固定于该基座且接触该夹持头;其中,该夹持头上设有两个电极,且当该夹持头夹持住基板后,该电极会与基板相接触。 |
申请公布号 |
CN101738345B |
申请公布日期 |
2012.10.10 |
申请号 |
CN200810181063.6 |
申请日期 |
2008.11.20 |
申请人 |
财团法人工业技术研究院 |
发明人 |
温博浚;叶欣达;陈政宪;柯心怡;钟宗颖 |
分类号 |
G01N3/20(2006.01)I;G01J1/00(2006.01)I;G01J3/00(2006.01)I;G01B11/16(2006.01)I;G01R31/00(2006.01)I |
主分类号 |
G01N3/20(2006.01)I |
代理机构 |
北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 |
代理人 |
梁挥;祁建国 |
主权项 |
一种可检测挠曲力量与电性的夹具组,用于夹持一基板,该夹具组包含:一第一夹具,包括:一第一基座;一第一夹持头,固定于该第一基座,该第一夹持头由一第一夹持片以及与该第一夹持片结合的一第一固定片所组成;一第一力量感测单元,固定于该第一基座且接触该第一夹持头;以及一第二力量感测单元,固定于该第一基座且接触该第一夹持头;一第二夹具,包括:一第二基座;一第二夹持头,固定于该第二基座,该第二夹持头由一第二夹持片以及与该第二夹持片结合的一第二固定片所组成;一第三力量感测单元,固定于该第二基座且接触该第二夹持头;以及一第四力量感测单元,固定于该第二基座且接触该第二夹持头;其中,该第一夹持头与第二夹持头上分别设有两个电极,且当该第一夹持头与第二夹持头分别夹持住基板后,该电极与基板相接触。 |
地址 |
中国台湾新竹县 |