一种双波长激光切割钢化玻璃的方法及其装置

摘要

本发明涉及一种双波长激光切割钢化玻璃的方法，所述方法包含有以下步骤：步骤一、波长为515nm～532nm的激光将焦点聚焦到钢化玻璃的下表面上；步骤二、激光的聚焦焦点按切割形状在钢化玻璃的下表面上移动；步骤三、将激光聚焦焦点由下往上移动，并重复步骤二，直至距离上表面100μm～300μm；步骤四、波长为190nm～355nm的激光将焦点聚焦到钢化玻璃的上表面；步骤五、激光的聚焦焦点按切割形状在钢化玻璃的上表面上移动；步骤六、将激光聚焦焦点由上往下移动，并重复步骤五，直至将剩余的厚度为100μm～300μm的玻璃去除，从而完成整个切割过程。本发明涉及一种双波长激光切割钢化玻璃的方法，切割良品率高且切割效率高。

主权项

一种双波长激光切割钢化玻璃的方法，其特征在于：所述方法包含有以下步骤：步骤一、波长为515nm～532nm的激光将焦点聚焦到钢化玻璃的下表面上；步骤二、激光的聚焦焦点按切割形状在钢化玻璃的下表面上移动，在移动过程中，在移动轨迹内的钢化玻璃气化，从而按切割形状形成切割沟道；步骤三、将激光聚焦焦点由下往上移动，并重复步骤二，直至切割沟道距离上表面100um～300um；步骤四、波长为190nm～355nm的激光将焦点聚焦到钢化玻璃的上表面；步骤五、激光的聚焦焦点按切割形状在钢化玻璃的上表面上移动，在移动过程中，在移动轨迹内的钢化玻璃气化，从而按切割形状形成切割沟道；步骤五、将激光聚焦焦点由上往下移动，并重复步骤五，直至将剩余的厚度为100um～300um的玻璃去除，从而完成整个切割过程。