| 发明名称 | 升降抖动装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种升降抖动装置，其特征在于，包括：挂篮支架；抖动驱动装置，抖动驱动装置与挂篮支架连接；抖动驱动装置驱动挂篮支架上下往复运动；提升驱动装置，提升驱动装置驱动挂篮支架上升或下降。本实用新型中的升降抖动装置，既可以使支架上下抖动，蚀刻时，使产品抖动可及时去除蚀刻产生的粉末，提高蚀刻质量；清洗时抖动，可提高清洗效果，且清洗完成后抖动能够快速去除产品表面的水滴。本实用新型中的升降抖动装置还可以自动实现使产品上升或下降，自动将产品放入蚀刻液或清洗水中，处理完成后自动将产品提升出液面。提升与抖动功能可相互配合，使用方便。 | ||
| 申请公布号 | CN202479159U | 申请公布日期 | 2012.10.10 |
| 申请号 | CN201120574318.2 | 申请日期 | 2011.12.31 |
| 申请人 | 上海新阳半导体材料股份有限公司 | 发明人 | 王振荣;刘红兵;黄利松 |
| 分类号 | B08B3/04(2006.01)I;B08B13/00(2006.01)I;H01L21/306(2006.01)I;H05K3/26(2006.01)I | 主分类号 | B08B3/04(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海脱颖律师事务所 31259 | 代理人 | 李强 |
| 主权项 | 升降抖动装置，其特征在于，包括：挂篮支架；抖动驱动装置，抖动驱动装置与挂篮支架传动连接；抖动驱动装置驱动挂篮支架上下往复运动；提升驱动装置，提升驱动装置与挂篮支架传动连接，提升驱动装置驱动挂篮支架上升或下降。 | ||
| 地址 | 201616 上海市松江区文合路1268号 | ||