发明名称 |
一种晶体管 |
摘要 |
本实用新型提供一种晶体管,包括:多晶硅薄膜作为有源层制造P沟道的TFTs,结晶多晶硅薄膜有低的镍浓度,其特征在于,成核点(NS)以及补充点(SS)通过组合溶剂法提供,成核点和补充点重复性有规则分布,实现相同形状和大小的晶畴。 |
申请公布号 |
CN202487579U |
申请公布日期 |
2012.10.10 |
申请号 |
CN201120015629.5 |
申请日期 |
2011.01.19 |
申请人 |
广东中显科技有限公司 |
发明人 |
何子键;郭海成;凌代年;邱成峰;彭华军;黄飚 |
分类号 |
H01L29/786(2006.01)I;H01L29/04(2006.01)I;H01L29/06(2006.01)I |
主分类号 |
H01L29/786(2006.01)I |
代理机构 |
北京瑞恒信达知识产权代理事务所(普通合伙) 11382 |
代理人 |
王凤华 |
主权项 |
一种晶体管,包括:多晶硅薄膜作为有源层制造P沟道的TFTs,其特征在于,成核点(NS)以及补充点(SS)通过组合溶剂法提供,成核点和补充点重复性有规则分布,实现相同形状和大小的晶畴。 |
地址 |
528225 广东省佛山市南海区狮山经济开发区北园中路11号 |