发明名称 一种晶体管
摘要 本实用新型提供一种晶体管,包括:多晶硅薄膜作为有源层制造P沟道的TFTs,结晶多晶硅薄膜有低的镍浓度,其特征在于,成核点(NS)以及补充点(SS)通过组合溶剂法提供,成核点和补充点重复性有规则分布,实现相同形状和大小的晶畴。
申请公布号 CN202487579U 申请公布日期 2012.10.10
申请号 CN201120015629.5 申请日期 2011.01.19
申请人 广东中显科技有限公司 发明人 何子键;郭海成;凌代年;邱成峰;彭华军;黄飚
分类号 H01L29/786(2006.01)I;H01L29/04(2006.01)I;H01L29/06(2006.01)I 主分类号 H01L29/786(2006.01)I
代理机构 北京瑞恒信达知识产权代理事务所(普通合伙) 11382 代理人 王凤华
主权项 一种晶体管,包括:多晶硅薄膜作为有源层制造P沟道的TFTs,其特征在于,成核点(NS)以及补充点(SS)通过组合溶剂法提供,成核点和补充点重复性有规则分布,实现相同形状和大小的晶畴。
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