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发明名称
摘要
申请公布号
JP5044192(B2)
申请公布日期
2012.10.10
申请号
JP20060294215
申请日期
2006.10.30
申请人
FUJITSU LTD
发明人
GOTO HIROSHI
分类号
F04C2/344;(IPC1-7):H01L27/04;H01L27/108;H01L27/12
主分类号
F04C2/344
代理机构
代理人
主权项
地址
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