| 发明名称 | 硅片清洗机喷淋用水加热设备 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种硅片清洗机喷淋用水加热设备，包括喷淋用水水箱和电加热管，所述喷淋用水水箱内设有电加热管；所述电加热管包括金属管、电阻丝和氧化镁粉，所述金属管内设置有电阻丝，金属管内空隙部分填充有氧化镁粉。通过使用本发明产品后，水温达到了工艺要求，保持在40℃左右，杜绝了多晶硅片脏片和花片现象，提高了产品的合格率，降低了生产成本。 | ||
| 申请公布号 | CN102723256A | 申请公布日期 | 2012.10.10 |
| 申请号 | CN201110079693.4 | 申请日期 | 2011.03.31 |
| 申请人 | 江苏新潮光伏能源发展有限公司 | 发明人 | 姚兴平 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01)I;F24H1/20(2006.01)I;B08B3/02(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人 | 徐激波 |
| 主权项 | 一种硅片清洗机喷淋用水加热设备，其特征在于：包括喷淋用水水箱（1）和电加热管（2），所述喷淋用水水箱（1）内设有电加热管（2）；所述电加热管（2）包括金属管、电阻丝和氧化镁粉，所述金属管内设置有电阻丝，金属管内空隙部分填充有氧化镁粉。 | ||
| 地址 | 225600 江苏省扬州市高邮市经济开发区凌波路55号 | ||