基于石墨烯的表面等离子体极化波可变传播宽度波导

摘要

一种基于石墨烯的表面等离子体极化波可变传播宽度波导，包括：叠合在一起的硅衬底和二氧化硅衬底，在硅衬底上设有阶梯形带状突起，在二氧化硅衬底上设有与阶梯形带状突起相适配的阶梯形带状凹槽，且所述阶梯形突起嵌入阶梯形凹槽中，在二氧化硅衬底上设有石墨烯层。偏置电压源的一极加在硅衬底上，另一极加在石墨烯上。通过设计硅衬底不同区域的厚度和偏置电压，此基于石墨烯的表面等离子体极化波可变传播宽度波导的传播宽度会随着所加偏置电压的不同而不同。本实用新型可工作于多个频点，重量轻，加工方便，易于集成，具有良好的应用前景。

主权项

一种基于石墨烯的表面等离子体极化波可变传播宽度波导，其特征在于，包括：叠合在一起的硅衬底(10)和二氧化硅衬底（11），在硅衬底（10）上设有阶梯形带状突起，在二氧化硅衬底（11）上设有与阶梯形带状突起相适配的阶梯形带状凹槽，且所述阶梯形带状突起嵌入阶梯形带状凹槽中，在二氧化硅衬底（11）上设有石墨烯层（12）。