大气压等离子体产生方法、等离子体处理方法和使用其的部件安装方法、以及使用这些方法的装置

摘要

将第一惰性气体(5)供给到反应空间(1)中并且高频电源(4)施加高频电场以便从反应空间喷射由已成为等离子体的第一惰性气体构成的初级等离子体(6)。形成其中混合气体(8)具有作为主要成分的第二惰性气体(12)和相混合的适量活性气体(13)的混合气体区(10)。初级等离子体碰撞到混合气体区以产生由已成为等离子体的混合气体构成的二次等离子体(11)，接着将二次等离子体喷雾到处理对象(S)上以进行等离子体处理。因此，通过由小输入功率产生的大气压等离子体可以在宽泛范围内进行等离子体处理。

主权项

一种用于产生大气压等离子体的方法，包括：等离子体产生步骤，将第一惰性气体(5)供给到形成反应空间(1，24)的反应容器(2，14)并对设置在所述反应空间附近的天线(3)施加高频电压以从所述反应空间喷射由已成为感应耦合等离子的所述第一惰性气体构成的初级等离子体(6)；以及等离子体扩张步骤，形成包含作为主要成分的第二惰性气体(12)和与所述第二惰性气体混合的适量活性气体(13)的混合气体区(10，29)以使所述初级等离子体与所述混合气体区在比反应容器的下端更下方的部分碰撞以便产生由已成为所述等离子体的混合气体(8)构成的二次等离子体(11)并使所述二次等离子体在混合气体区内扩张，其中，混合气体容器(7，16)靠近反应容器(2，14)的底端侧设置，并且配置于所述混合气体容器(7，16)的上部位置的气体入口(9，17)将混合气体供应到配置于反应容器(2，14)的外侧的混合气体容器(7，16)的内部。