适用于槽式太阳能热发电的集热管的内管及其镀膜方法

摘要

本发明所公开的是一种适用于槽式太阳能热发电的集热管的内管及其镀膜方法，本发明内管以其在不锈钢管表面，由内至外依次分别是红外反射铜膜层，SS-Al2O3膜层、SS-SiO2膜层和SiO2保护膜层为主要特征；而其镀膜方法，以其采用直立筒式多靶中频反应磁控溅射镀膜机为镀膜手段，依次按照对不锈钢管清洗烘干装机并实施Ar气粒子轰击，溅射沉积反射铜膜层，溅射沉积SS-Al2O3膜层，溅射沉积SS-SiO2膜层和溅射沉积SiO2保护膜层步骤进行为主要特征。本发明产品内管，具有吸收率高，发射率低，耐受温度高，使用寿命长等特点；而本发明镀膜方法，具有方法简单可行，生产效率高，制成品质量好等特点。

主权项

一种适用于槽式太阳能热发电集热管的内管，包括基体件不锈钢管(1)，设置在基体件不锈钢管(1)表面的红外反射金属膜层(2)，和设置在红外反射金属膜层(2)表面的双金属陶瓷吸收膜层(3)，其特征在于：a、所述红外反射金属膜层(2)是铜膜层；b、所述双金属陶瓷吸收膜层(3)，是由一层高体积分数SS‑Al2O3膜层(3‑1)，和一层低体积分数SS‑SiO2膜层(3‑2)构成；所述SS‑Al2O3膜层(3‑1)设置在铜膜层(2)的表面；而SS‑SiO2膜层(3‑2)设置在SS‑Al2O3膜层(3‑1)的表面；c、还包括SiO2保护膜层(4)，所述SiO2保护膜层(4)设置在SS‑SiO2薄膜层(3‑2)的表面。