镀膜镜片制作方法

摘要

本发明涉及一种镀膜镜片的制作方法，其包括以下步骤：提供一个基底，该基底包括相对的一个第一表面及一个第二表面；对该基底的第一表面进行光学镀膜；沿该基底的第二表面对该基底进行多次蚀刻，以形成镀膜镜片的光学成像区域；切割该基底以得到多个镀膜镜片。

主权项

一种镀膜镜片的制作方法，其包括以下步骤：提供一个基底，该基底包括相对的一个第一表面及一个第二表面；对该基底的第一表面进行光学镀膜；沿该基底的第二表面对该基底进行多次蚀刻，以形成多个成阶梯状重叠在一起的蚀刻层，该多个蚀刻层形成镀膜镜片的光学成像区域；其中，该多次蚀刻的方式为：步骤一，在该基底的第二表面上涂布第一光阻层，通过曝光显影形成多个彼此分离且形状为圆周形的第一光阻区，使用处理液将未被该第一光阻区遮挡的区域腐蚀去除，以形成多个对应于第一光阻区的第一蚀刻层，步骤二，在被蚀刻掉的表面上再涂布第二光阻层，经曝光显影后形成多个彼此分离且形状为圆环形的第二光阻区，该多个第二光阻区分别环绕该多个第一蚀刻层，用处理液将未被该第一、第二光阻区遮挡的区域去除，以形成多个圆周形的第二蚀刻层，多次实施上述蚀刻步骤二，当蚀刻所形成的多个蚀刻层的总厚度满足光学成像要求时，用光阻去除液将多个光阻层去除以形成多个呈阶梯状层叠的圆周形蚀刻层；当后蚀刻所形成的蚀刻层较先蚀刻所形成的蚀刻层的半径呈正弦波逐渐增大时，该多个蚀刻层近似形成一个球面，从而形成光学成像区域；切割该基底以得到多个镀膜镜片。