一种垂直结构场发射微机械温度传感器结构

摘要

本实用新型公开了一种垂直结构场发射微机械温度传感器结构，其特征是：包括台阶状的衬底、覆盖在衬底上表面的绝缘层、悬臂梁和尖端阴极；悬臂梁一端与台阶上层的绝缘层连接，另一端为自由端，处于悬空状态；尖端阴极位于台阶下层的绝缘层上，其尖端位于悬臂梁的自由端下部，两者间隙设置；所述悬臂梁为双层结构，上下两层材质为金属，且两种金属材质的热膨胀系数不等。本实用新型制造工艺简单，灵敏度高，温度测量范围宽，可以在零下80度低温下工作，采用微机械加工，可批量生产器件，使成本降低和一致性等性能得到提高。

主权项

一种垂直结构场发射微机械温度传感器结构，其特征是：包括台阶状的衬底、覆盖在衬底上表面的绝缘层、悬臂梁和尖端阴极；悬臂梁一端与台阶上层的绝缘层连接，另一端为自由端，处于悬空状态；尖端阴极位于台阶下层的绝缘层上，其尖端位于悬臂梁的自由端下部，两者间隙设置；所述悬臂梁为双层结构，上下两层材质为金属，且两种金属材质的热膨胀系数不等。