发明名称 |
玻璃基板卡匣的检测装置 |
摘要 |
本发明公开了一种玻璃基板卡匣的检测装置,玻璃基板卡匣沿竖直方向设置有用于支撑玻璃基板的多个支撑面,检测装置包括沿竖直方向分布且分别与多个支撑面对应的多个检测单元,以同时对每个支撑面上是否存在玻璃基板以及每个支撑面上的玻璃基板是否存在异常进行检测。本发明检测装置包括多个沿竖直方向分布的检测单元能同时分别对卡匣沿竖直方向设置的多个支撑面进行检测,检测过程所用的时间大大缩减。 |
申请公布号 |
CN102721692A |
申请公布日期 |
2012.10.10 |
申请号 |
CN201210203237.0 |
申请日期 |
2012.06.19 |
申请人 |
深圳市华星光电技术有限公司 |
发明人 |
李贤德;吴俊豪;林昆贤;齐明虎;陈增宏;汪永强;杨卫兵;郭振华;蒋运芍;舒志优 |
分类号 |
G01N21/84(2006.01)I |
主分类号 |
G01N21/84(2006.01)I |
代理机构 |
深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 |
代理人 |
何青瓦;丁建春 |
主权项 |
一种玻璃基板卡匣的检测装置,所述玻璃基板卡匣沿竖直方向设置有用于支撑玻璃基板的多个支撑面,其特征在于,所述检测装置包括沿所述竖直方向分布且分别与所述多个支撑面对应的多个检测单元,以同时对所述每个支撑面上是否存在所述玻璃基板以及所述每个支撑面上的所述玻璃基板是否存在异常进行检测。 |
地址 |
518000 广东省深圳市光明新区公明办事处塘家社区观光路汇业科技园综合楼1第一层B区 |