一种用于光刻设备的新型视觉系统

摘要

本发明涉及一种用于光刻设备的新型视觉系统，包括有R、G、B三色LED光源和光传感器，此外还设有将R、G、B三色LED光源折射到光传感器上的分光镜，所述的分光镜为一个或多个分光棱镜或分光反射镜，所述R、G、B三色LED光源为单组或多组R、G、B三色LED光源，所述R、G、B三色LED光源发出的三色光经物体反射后再经过分光镜折射后来到光传感器上并形成可视图像。本发明提供了一种对照明光的角度、光谱和色温，对观察物体的光谱特性、形状和背景的选取了达到了最佳的对比和检测效果，能更好的观察和识别物体，提高的基板的对准精度的新型视觉系统。

主权项

一种用于光刻设备的新型视觉系统，其特征在于包括有R、G、B三色LED光源和光传感器，此外还设有将R、G、B三色LED光源折射到光传感器上的分光镜。