多层结构的微部件及固化的SU8光刻胶薄片的加工方法

摘要

本发明公开了一种多层结构的微部件及固化的SU8光刻胶薄片的加工方法，包括步骤：a.在金属种子层的基底上匀胶、烘胶；b.对烘干的胶进行紫外线曝光；c.对曝光的光刻胶进行后烘、显影；d.粘贴固化的SU8光刻胶薄片；e.对d中的固化的SU8光刻胶薄片进行曝光；f.对e中的固化的SU8光刻胶薄片进行后烘、显影；g.溅射金属导电层；h.粘贴固化的SU8光刻胶薄片；i.对h中固化的SU8光刻胶薄片进行曝光；j.对i中固化的SU8光刻胶薄片进行后烘、显影；k.电铸。有益效果是：由于使用固化的SU8光刻胶薄片，避免对上一层图案的破坏，对相邻两层之间的图案大小没有限制，该微结构可为后续的装配过程提供更多的便利。

主权项

1.一种固化的SU8光刻胶薄片的加工方法，其特征在于，包括以下步骤：A．对涂有AZ4620光刻胶的硅片在90C的热台上烘5分钟，在硅片上面涂蜡；B．在涂蜡的硅片上覆盖铝箔，其中，完成涂蜡之后，将铝箔覆盖在硅片上，为了保持铝箔平整，在铝箔上面覆盖硅片并施加50牛顿的压力，保持5分钟，关掉热台，让硅片自然冷却到室温；C．在覆盖铝箔的硅片上匀液态的SU8光刻胶，并烘胶；D．取下硅片，其中，在SU8光刻胶烘干之后，将热台加热到40C，这个温度下蜡开始变软，此时可以比较容易的将硅基底同带有SU8胶的铝箔分离；E．揭下铝箔，得到固化的SU8光刻胶薄片。