发明名称 |
水反应性Al膜的制造方法及成膜室用构成部件 |
摘要 |
本发明提供一种水反应性Al膜的制造方法,其将在4NAl或5NAl中以Al基准计添加了2~5wt%的In的材料熔融,以使得组成变得均匀,通过电弧喷镀法,作为喷涂气体使用Ar,对于基材表面进行喷镀而使其急冷凝固,由此形成在Al晶粒中In均匀地分散而成,另外在表面具备该水反应Al膜的成膜室用构成部件。 |
申请公布号 |
CN102016099B |
申请公布日期 |
2012.10.10 |
申请号 |
CN200980115407.6 |
申请日期 |
2009.04.27 |
申请人 |
株式会社爱发科 |
发明人 |
门胁丰;斋藤朋子;林敬荣;虫明克彦 |
分类号 |
C23C4/06(2006.01)I;C22C21/00(2006.01)I;C23C14/00(2006.01)I;C23C16/44(2006.01)I |
主分类号 |
C23C4/06(2006.01)I |
代理机构 |
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 |
代理人 |
贾成功 |
主权项 |
一种水反应性Al膜的制造方法,其特征在于,将在4NAl或5NAl中以Al基准计添加了2~5wt%的In的材料熔融,以使得组成变得均匀,将该熔融材料通过电弧喷镀法对于基材表面进行喷镀,使其急冷凝固,由此形成在Al晶粒中In均匀地分散而成的Al膜,所述Al膜是将该Al膜在40~130℃的温水中浸渍而溶解了时的溶解电流密度为50mA/cm2以上的Al膜。 |
地址 |
日本神奈川 |