一种电磁预紧XY精密运动平台

摘要

本发明提出一种电磁预紧XY精密运动平台，包括底板组件(1)，底板组件(1)包括底板(5)，在底板(5)上安装有X轴直线电机组件(2)、Y轴直线电机组件(3)、运动平台连接体组件(4)，运动平台连接体组件(4)的上端通过导向连接体(45)与X轴直线电机动子连接杆(25)、Y轴直线电机动子连接杆(28)相连接；运动平台连接体组件(4)的下端通过磁力调节滚动支撑机构的连接体固定台座(36)安装在底板(5)的相应安装平面上，磁力调节滚动支撑机构包括12组电磁铁线圈组件(43)。本发明具有更大的系统刚度、更好的运动精度、更简单适用的X/Y运动解耦方式，适用在生产流水线上进行超大规模集成电路半导体芯片的高速封装作业。

主权项

一种电磁预紧XY精密运动平台，其特征在于，底板组件(1)包括底板(5)，在底板(5)上安装有X轴直线电机组件(2)、Y轴直线电机组件(3)、运动平台连接体组件(4)；其中，X轴直线电机组件(2)通过X轴直线电机安装座螺钉(24)安装在底板(5)的X轴安装平面上；Y轴直线电机组件(3)通过Y轴直线电机安装座螺钉(32)安装在底板(5)的Y轴安装平面上；运动平台连接体组件(4)的上端通过导向连接体(45)与X轴直线电机动子连接杆(25)、Y轴直线电机动子连接杆(28)相连接；运动平台连接体组件(4)的下端通过磁力调节滚动支撑机构的连接体固定台座(36)并利用固定台座安装螺钉(38)安装在底板(5)的相应安装平面上；在底板组件(1)中，X轴光栅尺读数头角架(6)通过X轴角架安装螺钉(7)安装在底板(5)的相应平面上；X轴光栅尺读数头(8)通过X轴读数头安装螺钉(9)安装在X轴光栅尺读数头角架(6)的相应位置；X轴精密运动导轨(10)通过X轴导轨安装螺钉(12)安装在底板(5)的X轴导轨的安装平面上；X轴导轨滑块(11)滑动安装在X轴精密运动导轨(10)上；Y轴光栅尺读数头角架(17)通过Y轴角架安装螺钉(16)安装在底板(5)的相应平面上；Y轴光栅尺读数头(19)通过Y轴读数头安装螺钉(18)安装在Y轴光栅尺读数头角架(17)的相应位置；Y轴精密运动导轨(15)通过Y轴导轨安装螺钉(13)安装在底板(5)的Y轴导轨的安装平面上；Y轴导轨滑块(14)滑动安装在Y轴精密运动导轨(15)上；在X轴直线电机组件(2)中，X轴直线电机安装座(22)通过X轴直线电机安装座螺钉(24)安装在底板(5)的X轴安装平面上；X轴直线电机定子及壳体(23)通过定位镶嵌安装在X轴直线电机安装座(22)的安装平面上；X轴直线电机动子(26)安装在X轴直线电机定子及壳体(23)内；X轴直线电机动子连接杆(25)通过X轴电机动子连接杆螺钉(27)安装在X轴直线电机动子(26)端面的螺钉孔内；X轴光栅尺架(21)通过X轴光栅尺架安装螺钉(20)安装在X轴直线电机动子(26)侧面的螺钉孔内；在Y轴直线电机组件(3)中，Y轴直线电机安装座(33)通过Y轴直线电机安装座螺钉(32)安装在底板(5)的Y轴安装平面上；Y轴直线电机定子及壳体(31)通过定位镶嵌安装在Y轴直线电机安装座(33)的安装平面上；Y轴直线电机动子(30)安装在Y轴直线电机定子及壳体(31)内；Y轴直线电机动子连接杆(28)通过Y轴电机动子连接杆螺钉(29)安装在Y轴直线电机动子(30)端面的螺钉孔内；Y轴光栅尺架(34)通过Y轴光栅尺架安装螺钉(35)安装在Y轴直线电机动子(30)侧面的 螺钉孔内；运动平台连接体组件(4)由磁力调节滚动支撑机构和导向连接体机构两部分构成；磁力调节滚动支撑机构中的连接体固定台座(36)通过固定台座安装螺钉(38)安装在底板(5)的固定台座安装平面上；固定衬板(37)固定在连接体固定台座(36)上的凹腔内；在滚动钢珠组件(40)中，钢珠上衬板(41)、钢珠下衬板(39)上各开有圆形孔；滚动钢珠装入钢珠上衬板(41)，钢珠上衬板(41)与钢珠下衬板(39)热合；活动衬板(42)固定在活动台座(44)下表面的凹腔内；12组电磁铁线圈组件(43)固定在活动台座(44)底面四边的凹腔内；导向连接体(45)固定在活动台座(44)的上表面；导向连接体(45)通过导向连接螺钉(46)将X轴直线电机动子连接杆(25)和Y轴直线电机动子连接杆(28)铰接在导向连接体(45)上的安装孔内。