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经营范围
发明名称
Chuck for fixing wafer
摘要
申请公布号
KR101189611(B1)
申请公布日期
2012.10.10
申请号
KR20100134315
申请日期
2010.12.24
申请人
发明人
分类号
H01L21/687;H01L21/683
主分类号
H01L21/687
代理机构
代理人
主权项
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