一种用于坩埚自动喷涂的机器人手爪

摘要

本发明公开了一种用于坩埚自动喷涂的机器人手爪，其包括底板，所述底板上装有喷枪固定座、测温仪固定座和气缸固定座，所述喷枪固定座上装有自动喷枪，所述气缸固定座上装有气缸，所述测温仪固定座上装有用于测量坩埚表面温度的红外测温仪；所述气缸的端部装有压臂，该压臂上装有用于封盖红外测温仪镜头的盖帽。本发明的机器人手爪上同时包含自动喷枪和红外测温仪，可以在程序控制下进行自动测温、喷涂及吹扫。本发明大大降低了人工成本，提高了喷涂质量和一致性，改善了工作环境，使操作人员避免在微尘环境中长期工作，提高了多晶硅铸锭生产线自动化程度和生产效率。

主权项

一种用于坩埚自动喷涂的机器人手爪，包括底板（1），其特征是，所述底板（1）上装有喷枪固定座（2）、测温仪固定座（3）和气缸固定座（7），所述喷枪固定座（2）上装有自动喷枪（4），所述气缸固定座（7）上装有气缸（6），所述测温仪固定座（3）上装有用于测量坩埚表面温度的红外测温仪（8）；所述气缸（6）的端部装有压臂（5），该压臂（5）上装有用于封盖红外测温仪（8）镜头的盖帽（10）。