发明名称 有着<100>晶面沟道方向的非易失性电荷俘获存储器件
摘要 本发明描述了一个非易失性电荷俘获器件和制造该器件的方法。该器件包括沟道长度为<100>晶面方向的沟道区域。沟道区域在一对源漏区之间,栅堆跺设置在沟道区域上方。
申请公布号 CN101523582B 申请公布日期 2012.10.10
申请号 CN200780037846.0 申请日期 2007.09.28
申请人 赛普拉斯半导体公司 发明人 依格·普利斯查克;赛格·利维;克里希纳斯瓦米·库马尔
分类号 H01L21/336(2006.01)I;H01L21/00(2006.01)I 主分类号 H01L21/336(2006.01)I
代理机构 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 代理人 张敬强
主权项 一种非易失性电荷俘获存储器件,其特征在于,包含:形成在有源区里的源区和漏区;在源区和漏区之间的沟道区域,其沟道长度为<100>晶面方向;隔离结构,其邻近所述沟道区域的侧壁,其中所述沟道区域的上表面在所述隔离结构上表面上方;并且栅堆跺设置在沟道区域上方。
地址 美国加利福尼亚州