| 主权项 |
一种涂覆显影装置，其具有：分别载置收纳多个基板的载体且并排成一列的多个交接用载置部；与载置在该交接用载置部的载体进行基板的交接的交接机构；和处理部，其包括为了在由所述交接机构从载置在所述交接用载置部的载体交接到的基板形成涂覆膜并且对曝光后的基板进行显影而对基板进行处理或载置基板的多个模块、和在这多个模块之间进行基板的搬送的基板搬送机构，该涂覆显影装置在所述处理部对从每个批次分别准备的载体移出至该处理部的基板进行处理后，进行基板的搬送，以将该基板送回原来的载体，该涂覆显影装置的特征在于，包括：多个载置部，是分别在多层设置的搁板部上排列有多个的载置部，其包含用于暂时载置载体的多个保管用的载置部、以及通过外部载体搬送机构进行载体的交接的载置部；载体搬送机构，为了在这多个载置部和所述交接用载置部之间进行载体的移载，而相对于所述交接用载置部设置在与所述处理部相反的一侧；回收计划制作机构，其在所述涂覆显影装置发生故障时，以按照载置于靠近交接用载置部的排列的模块的基板顺序在先的方式，将载置于所述处理部的各模块中的基板回收至原来的载体而决定基板的回收顺序；以及控制部，其输出控制信号，使得收纳未处理基板的载体通过所述载体搬送机构依次搬入所述交接用载置部，按照所搬入的顺序通过所述交接机构将基板从载体移出至处理部侧，全部基板被移出的载体通过所述载体搬送机构暂时移载至所述保管用的载置部，为了其后使处理完的基板返回至原来的载体，从保管用的载置部将该原来的载体搬入所述交接用载置部，处理后的基板全部被收纳后通过基板搬送机构将该载体从交接用载置部搬出，控制所述交接机构，使得在涂覆显影装置发生故障时，按照由所 述回收计划制作机构决定的回收顺序，将基板搬送至所述交接用载置部上的原来的载体，并且输出控制信号，使得为了在涂覆显影装置发生故障时，将全部基板已被移出且暂时移载至所述保管用的载置部的一个载体，交接于所述交接用载置部并按照由回收计划制作机构决定的回收顺序回收基板，而通过载体搬送机构使载置于交接用载置部的其他载体退避至保管用的载置部，并通过载体搬送机构将所述一个载体移载至空的交接用载置部，从而将基板回收至该一个载体。 |
