区分P/N型硅料的显色溶液和区分方法

摘要

本发明公开了一种区分P/N型硅料的显色溶液和区分方法，该显色溶液的体积配比为：硝酸∶氢氟酸＝1∶80～120；其中氢氟酸的质量分数为40～45％、硝酸质量分数65～68％。本显色溶液使清洗后的N型电子导电硅材料呈明亮色、P型空穴导电硅材料呈暗灰色，以实现清洗、分检比较容易的优点。经本发明显色溶液酸洗的非多晶硅料，表面的明、暗对比分明，P、N型用肉眼清晰可见，且用过的酸液还可以重复利用清洗硅料表面杂质；具有提高区分率、提升工作效率、提高单晶质量以及降低成本的优点。

主权项

一种区分P/N型硅料的显色溶液，其特征在于，该显色溶液的体积配比为：硝酸∶氢氟酸=1∶80～120；其中氢氟酸的质量分数为40～45%、硝酸质量分数65～68%。