成膜装置

摘要

一种成膜装置，构成包括蒸镀釜及其内的加热部，在所述的蒸镀釜内与所述的加热部的蒸汽出汽口相对的是基板及其移动夹具；用档板与所述蒸镀釜分隔的副釜；蒸镀溶液供给部，该蒸镀溶液供给部的供给管直通所述的副釜内；贯通所述挡板从所述副釜至所述蒸镀釜内的加热部设置传送蒸镀材料的传输带；所述蒸镀溶液供给部向所述的副釜内将蒸镀溶液连续不断地提供给所述传输带上，所述的加热部对所述的蒸镀材料加热汽化后的蒸汽从所述的蒸汽出汽口喷射在所述的基板上沉积，形成所述蒸镀材料的膜。本发明的成膜装置的特点是连续地使用液态的蒸镀材料进行蒸发镀膜，并能有效地防止所形成膜的膜质劣化。

主权项

一种成膜装置，其特征在于，具有：蒸镀釜及设置在蒸镀釜内的加热部，在所述的蒸镀釜内与所述的加热部的蒸汽出汽口相对的是基板，及夹持和移动所述的基板的基板夹具；用档板与所述蒸镀釜分隔的副釜；蒸镀溶液供给部，该蒸镀溶液供给部的供给管直通所述的副釜内；贯通所述挡板从所述副釜至所述蒸镀釜内的加热部设置传送蒸镀材料的传输带；所述蒸镀溶液供给部通过供给管向所述的副釜内将蒸镀材料溶解在溶剂中的蒸镀溶液连续不断地提供给所述传输带上，该蒸镀溶液在所述传输带的传送过程中，所述蒸镀溶液的溶剂在副釜中挥发而分离，仅蒸镀材料留在传输带上进入所述的加热部，该加热部对所述的蒸镀材料加热汽化后的蒸汽从所述的蒸汽出汽口喷射在所述的基板上沉积，形成所述蒸镀材料的膜。