用以沉积防反射层于基材上的方法

摘要

本发明涉及一种用以沉积一防反射层(6)于一基材(1)上的方法，包括下列步骤。提供具有多个太阳能电池结构(2)的基材(1)，并将该基材布置于一真空腔室(11)内，该真空腔室具有一含硅固体(13)。在该固体(13)与接地电位(14)之间断开电压期间，将一含氮反应气体(20)在该真空腔室(11)内的一流量调节至一第一值，将该含氮反应气体(20)之流量提高至一第二值并在该固体(13)与接地电位(14)间施加一电压，其中，以该含氮反应气体(20)高于该第一值之流量将一由硅及氮构成之层(6)沉积于该基材(1)上。

主权项

一种用以沉积防反射层(6)于基材(1)上的方法，其包括下列步骤：提供具有多个太阳能电池结构(2)的基材(1)；将该基材(1)布置于真空腔室(11)内，该真空腔室(11)具有含硅的固体(13)，其中，该固体(13)与接地电位(14)之间能够施加一定的电压；在该固体(13)与该接地电位(14)之间断开电压期间，将含氮反应气体(20)在该真空腔室(11)内的流量调节至第一值；将该含氮反应气体(20)的流量提高至第二值；在该固体(13)与接地电位(14)间施加一定的电压；以及以该含氮反应气体(20)高于该第一值的流量将由硅及氮构成的层(6)沉积于该基材(1)上。