用于等离子处理设备的喷头电极总成的温度控制模块

摘要

一种用于半导体材料等离子处理室的喷头电极总成的温度控制模块包括：加热器板，适于固定于该喷头电极总成的顶部电极的顶面，并且提供热量至该顶部电极以控制该顶部电极的温度；冷却板，适于固定于该喷头电极总成的顶板的一个表面并与之隔热，以及冷却该加热器板并控制该顶部电极和加热器板之间的热传导；以及至少一个热力壅塞，适于控制该加热器板和该冷却板之间的热传导。

主权项

一种用于半导体材料等离子处理室的喷头电极总成的温度控制模块，该温度控制模块包括：加热器板，具有适于固定于该喷头电极总成的顶部电极的顶面的底面，该顶部电极具有暴露于等离子的底面，该加热器板包括至少一个加热器适于提供热量至该顶部电极以控制该顶部电极的温度；冷却板，其具有顶面，该顶面适于固定于形成该等离子处理室顶壁的顶板的底面并与该底面隔热，该冷却板适于控制该加热器板的温度以及控制该加热器板和该顶部电极之间的热传导；以及至少一个导电导热热力壅塞，位于该加热器板的顶面和该冷却板的底面之间并与它们接触，该至少一个热力壅塞适于控制该加热器板与该冷却板之间的热传导。