旋转机械用部件及其制造方法

摘要

本发明提供旋转机械用部件及其制造方法，该旋转机械用部件在基材的表面上形成有陶瓷硬质保护膜，存在于该陶瓷硬质保护膜表面的颗粒的密度在1000个/mm2以内，且平均粒径为1μm以下的颗粒的密度在550个/mm2以内。所述旋转机械用部件的制造方法是至少利用离子镀法或溅射法形成陶瓷硬质保护膜的方法。

主权项

一种旋转机械用部件，其特征在于，在基材的表面上至少形成陶瓷硬质保护膜以及位于所述基材和所述陶瓷硬质保护膜之间的中间层，存在于所述陶瓷硬质保护膜表面的颗粒的密度为1000个/mm2以内，且平均粒径为1μm以下的颗粒的密度在550个/mm2以内，所述陶瓷硬质保护膜的膜厚比所述中间层的膜厚更厚，且所述陶瓷硬质保护膜和所述中间层的合计膜厚在5μm以上且20μm以下的范围，所述陶瓷硬质保护膜是使用成膜装置利用离子镀法形成的，其中所述成膜装置具有真空容器、配置在真空容器内部且收容涂敷材料的坩锅、等离子体枪、聚焦线圈、加热器，所述离子镀法包括调整所述等离子体枪和所述聚焦线圈的输出，使所述涂敷材料加热蒸发并离子化的工序，通过将所述等离子体枪的电子线的输出除以所述涂敷材料的蒸发面的面积得到的熔融功率设定为550W/cm2以上且980W/cm2以下来进行所述等离子体枪的输出的调整，通过将所述聚焦线圈的电磁输出除以所述聚焦线圈的表面积得到的聚焦功率设定为80mW/cm2以上且150mW/cm2以下来进行所述聚焦线圈的输出的调整。