| 发明名称 | 薄膜太阳能电池制造装置 | ||
| 摘要 | 一种薄膜太阳能电池制造装置包括：成膜室，被排气以减压并通过CVD法在基板上形成膜；放入取出室，与所述成膜室经由第一开闭部连接，并能够在大气压与减压之间切换；第一托架，保持成膜处理前的基板；以及第二托架，保持成膜处理后的基板，所述放入取出室同时收容所述第一托架与所述第二托架。 | ||
| 申请公布号 | CN101999159B | 申请公布日期 | 2012.10.10 |
| 申请号 | CN200980112941.1 | 申请日期 | 2009.06.03 |
| 申请人 | 株式会社爱发科 | 发明人 | 清水康男;小形英之;松本浩一;野口恭史;若森让治;冈山智彦;森冈和;杉山哲康;重田贵司;栗原広行;齐藤一也 |
| 分类号 | H01L21/205(2006.01)I;C23C16/54(2006.01)I;H01L31/04(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/205(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人 | 齐葵;王诚华 |
| 主权项 | 一种薄膜太阳能电池制造装置，其特征在于，包括：成膜室，被排气以减压并通过CVD法在基板上形成膜；放入取出室，与所述成膜室经由第一开闭部连接，并能够在大气压与减压之间切换；第一托架，保持成膜处理前的基板；以及第二托架，保持成膜处理后的基板，所述第一托架与所述第二托架以所述基板的被成膜面与重力方向平行的纵姿势保持所述基板，所述放入取出室在所述放入取出室的内部为减压的状态下，同时交替收容多个所述第一托架与多个所述第二托架，所述第一托架与所述第二托架，在所述放入取出室中，能够在对于向所述成膜室的移动方向成大致直角的方向上移动。 | ||
| 地址 | 日本神奈川县 | ||