旋转加偏压装置

摘要

本实用新型公开一种旋转加偏压装置，该装置是在一升降台上固定有真空贯穿器，真空贯穿器上方固定有定位销和接电器，接电器旁边有传动轴及联轴器，升降台下方有齿轮与传动齿轮连接，传动齿轮与旋转电机转轴连接，升降台通过多个气缸升降，上升时，真空贯穿器上的定位销与联轴器、真空室内的镀制件转架相应部件嵌接，旋转电机使镀制件转架在真空室内旋转。本实用新型的优点是，集导电、定位以及旋转功能于一身，旋转平稳，定位准确，偏压稳定，功能强，结构简单，体积小。

主权项

一种旋转加偏压装置，其特征在于，在一升降装置上固定有真空贯穿器，真空贯穿器上方固定有定位销和接电器，接电器旁边有传动轴及联轴器，升降装置下方有齿轮与传动齿轮连接，传动齿轮与旋转电机转轴连接，升降装置通过多个气缸升降，上升时，真空贯穿器上的定位销与联轴器、真空室内的镀制件转架相应部件嵌接，旋转电机使镀制件转架在真空镀膜室内旋转，同时，接电器接通真空镀膜室镀膜源需要的偏压。