| 发明名称 |
具有纳米微结构基板的制备方法 |
| 摘要 |
本发明涉及一种具有纳米微结构基板的制备方法。该具有纳米微结构基板的制备方法，其包括以下步骤：提供一基底，该基底具有一支持外延层生长的外延生长面；在所述基底的外延生长面设置一碳纳米管层；在基底的外延生长面垂直生长外延层；以及，去除所述碳纳米管层，得到至少一表面具有纳米微结构的具有纳米微结构基板。所述具有纳米微结构基板的制备方法工艺简单，成本低廉。 |
| 申请公布号 |
CN102719888A |
申请公布日期 |
2012.10.10 |
| 申请号 |
CN201110076886.4 |
申请日期 |
2011.03.29 |
| 申请人 |
清华大学;鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 |
发明人 |
魏洋;范守善 |
| 分类号 |
C30B25/04(2006.01)I;C30B25/20(2006.01)I;B82Y40/00(2011.01)I |
主分类号 |
C30B25/04(2006.01)I |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
一种具有纳米微结构基板的制备方法，其包括以下步骤：提供一基底，该基底具有一支持外延层生长的外延生长面；在所述基底的外延生长面设置一碳纳米管层；在基底的外延生长面垂直生长外延层，所述外延层为由碳纳米管层中的碳纳米管间隔的非连续性的外延层；以及，去除所述碳纳米管层，得到表面具有纳米微结构的基板。 |
| 地址 |
100084 北京市海淀区清华大学清华-富士康纳米科技研究中心401室 |
