光整形装置和激光光源

摘要

本发明提出一种光整形装置，用于将入射光聚焦于一个特定的聚焦平面上并形成特定形状的光斑；包括聚焦部件，还包括位于聚焦部件和聚焦平面的光路之间的弧面镜阵列，该弧面镜阵列包括多个弧面镜单元，该弧面镜单元用于将从聚焦部件出射的入射于该弧面镜单元的光投射到聚焦平面上形成与该弧面镜单元对应的子光斑。其中子光斑的外形与其对应的弧面镜单元的外形为相似形。本发明还提出一种激光光源，包括上述的光整形装置，来将激光聚焦于一个特定的聚焦平面上并形成特定形状的光斑。在本发明的光整形装置和激光光源中，利用弧面镜阵列将从聚焦部件出射的光分别在聚焦平面上形成特定形状的光斑，从而实现了光斑的整形。

主权项

一种光整形装置，用于将入射光聚焦于一个特定的聚焦平面上并形成特定形状的光斑，其特征在于，包括：聚焦部件，该聚焦部件用于将所述入射光会聚于所述聚焦平面上；至少一个位于所述聚焦部件和所述聚焦平面的光路之间的第一弧面镜阵列，该第一弧面镜阵列包括多个并排排列的第一弧面镜单元，该第一弧面镜单元用于将从聚焦部件出射的入射于该第一弧面镜单元的光投射到所述聚焦平面上形成与该第一弧面镜单元对应的子光斑；所述子光斑的外形与其对应的第一弧面镜单元的外形为相似形。