用于获得一致特性的材料测量系统及相关方法

摘要

一种材料测量系统(500)包括：THz发生器，所述THz发生器包括用于发射光脉冲的至少一个激光源(111)，所述光脉冲被耦合到THz发射机(51)，所述THz发射机(51)可操作用于在材料(14)被生产系统(100)处理时朝所述材料(14)上的样本位置发射脉冲THz辐射。接收机(52)可操作用于接收所述光脉冲并且使用所述光脉冲同步地检测来自所述材料(14)上的样本位置的被反射或者被透射的THz辐射并且提供电检测信号。同步光学器件(112、113和114)可操作用于从所述激光器接收所述光脉冲并且向所述接收机(52)和所述THz发射机(51)两者提供所述光脉冲。控制器(25)包括用于接收所述电检测信号并且提供经处理的电检测信号的至少一个处理器(87)，以及可操作用于根据所述经处理的电检测信号确定所述材料的至少一个特性并且通常是多个特性的分析器(88)。

主权项

一种材料测量系统(500)，所述系统包括：THz发生器，所述THz发生器包括用于发射光脉冲的至少一个激光源(111)，所述光脉冲被耦合到THz发射机(51)，所述THz发射机(51)可操作用于在材料(14)被制造系统(100)处理时朝所述材料(14)上的样本位置发射脉冲THz辐射；接收机(52)，所述接收机(52)可操作用于接收所述光脉冲并且使用所述光脉冲同步地检测来自所述样本位置的被反射或者被透射的THz辐射并且提供电检测信号；同步光学器件(112、113和114)，所述同步光学器件(112、113和114)可操作用于从所述激光源(111)接收所述光脉冲并且向所述接收机(52)和所述THz发射机(51)两者提供所述光脉冲，以及控制器(25)，所述控制器(25)包括用于接收所述电检测信号并且提供经处理的电检测信号的至少一个处理器(87)，以及可操作用于根据所述经处理的电检测信号确定所述材料(14)的至少一个特性的分析器(88)。