| 发明名称 | 集成电路管脚三维检测装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种集成电路管脚三维检测装置，包括图像采集单元（2，3）、平面反射镜（4）、光源（5）、反光板（6）和图像检测处理单元（1），待检测的芯片（8）设置在反光板（6）下方，所述光源（5）发出的光束经反光板（6）反射后照射在待检测的芯片（8）上，再经平面反射镜（4）发射后入射到图像采集单元（2，3），该图像采集单元（2，3）与图像检测处理单元（1）连接，图像采集单元（2，3）采集获得待检测的芯片（8）的图像，传送到图像检测处理单元（1），经处理后即可实现对芯片管脚的三维检测。本实用新型能够自动检测芯片管脚的缺失、折断、宽度、间距、栈高等外形几何关键参数信息并判定芯片是否合格。 | ||
| 申请公布号 | CN202485627U | 申请公布日期 | 2012.10.10 |
| 申请号 | CN201120523616.9 | 申请日期 | 2011.12.14 |
| 申请人 | 华中科技大学 | 发明人 | 王瑜辉;尹周平;熊有伦;罗明成;张少华;郑金驹 |
| 分类号 | G01B11/00(2006.01)I;G01N21/88(2006.01)I | 主分类号 | G01B11/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人 | 李佑宏 |
| 主权项 | 一种集成电路管脚三维检测装置，其特征在于，包括图像采集单元（2，3）、平面反射镜（4）、光源（5）、反光板（6）和图像检测处理单元（1），待检测的芯片（8）设置在反光板（6）下方，所述光源（5）发出的光束经反光板（6）反射后照射在待检测的芯片（8）上，再经平面反射镜（4）发射后入射到图像采集单元（2，3），该图像采集单元（2，3）与图像检测处理单元（1）连接，图像采集单元（2，3）采集获得待检测的芯片（8）的图像，传送到图像检测处理单元（1），经处理后即可实现对芯片管脚的三维检测。 | ||
| 地址 | 430074 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号 | ||