| 发明名称 | 感光性聚合物组合物、图形的制造方法以及电子部件 | ||
| 摘要 | 一种感光性聚合物组合物，其含有（a）可溶于碱性水溶液的聚合物、（b）通过光产生酸的化合物、（c）铝络合物粘接助剂、（d）具有-CH2OR（R是氢原子或1价的有机基团）所示的基团的交联剂而形成。 | ||
| 申请公布号 | CN102725694A | 申请公布日期 | 2012.10.10 |
| 申请号 | CN201180006656.9 | 申请日期 | 2011.01.19 |
| 申请人 | 日立化成杜邦微系统股份有限公司 | 发明人 | 小野敬司;峰岸知典;大江匡之;小谷真志;绀野琢 |
| 分类号 | G03F7/085(2006.01)I;C08G69/02(2006.01)I;C08K5/13(2006.01)I;C08K5/1515(2006.01)I;C08K5/1525(2006.01)I;C08K5/17(2006.01)I;C08K5/3445(2006.01)I;C08K5/41(2006.01)I;C08K5/5419(2006.01)I;C08K5/56(2006.01)I;C08L77/00(2006.01)I;G03F7/004(2006.01)I;G03F7/023(2006.01)I;G03F7/40(2006.01)I;H01L21/027(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/085(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人 | 钟晶;於毓桢 |
| 主权项 | 一种感光性聚合物组合物，其含有下述成分（a）~（d）而形成：（a）可溶于碱性水溶液的聚合物；（b）通过光产生酸的化合物；（c）铝络合物；（d）具有‑CH2OR所示的基团的交联剂，其中，R是氢原子或1价的有机基团。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||