具有两个晶片的有源像素传感器

摘要

垂直集成的有源像素传感器包括连接到配套电路晶片的传感器晶片。晶片间连接器或者连接器导线将信号在该传感器晶片和该配套电路晶片之间传送。通过使用可移除的界面层将该传感器晶片附着于操作晶片来制造该有源像素传感器。一旦该传感器晶片被附着于该操作晶片，将该传感器晶片背面减薄到给定的厚度。然后该配套电路晶片附着于该传感器晶片，并且该操作晶片从该传感器晶片分开。

主权项

一种有源像素传感器，包括：(a)传感器晶片，包括：有源像素区的阵列，每个有源像素区具有：用于响应光而收集电荷的光电探测器；用于从该光电探测器读取电荷的读出电路；和连接到该读出电路的一个或多个互连；(b)连接到该传感器晶片的配套电路晶片，其中该配套电路晶片包括：用于该有源像素区的阵列的配套电路；和第二多个互连；以及(c)用于将控制和定时信号从该配套电路晶片传送到该传感器晶片并将列输出信号从所述传感器晶片传送到所述配套电路晶片的多个晶片间连接器导线，其中每个晶片间连接器导线被连接在该传感器晶片上的一个互连和该配套电路晶片上的对应互连之间。