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发明名称 SILICON CARBIDE SUBSTRATE
摘要
申请公布号 KR20120108912(A) 申请公布日期 2012.10.05
申请号 KR20117019567 申请日期 2010.09.28
申请人 SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES, LTD. 发明人 NISHIGUCHI TARO;SASAKI MAKOTO;HARADA SHIN;OKITA KYOKO;INOUE HIROKI;FUJIWARA SHINSUKE;NAMIKAWA YASUO
分类号 H01L21/02;H01L21/20;H01L29/12 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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