Abtastelektronenmikroskop

摘要

Ein Ziel der vorliegenden Erfindung besteht in einem Abtastelektronenmikroskop des Desktop-Typs, bei dem eine Mikroskop-Haupteinheit und eine Steuereinheit einschließlich einer Evakuiereinheit, einer Stromversorgung und eines Kühlgebläses auf einer einzigen Bodenplatte installiert sind, und mit der Bilder hoher Auflösung erhalten werden. Ein signifikantes Merkmal des Abtastelektronenmikroskops gemäß der Erfindung besteht darin, dass das Mikroskop eine Mikroskop-Haupteinheit, eine Evakuiereinheit zum Evakuieren des Innern der Haupteinheit und eine über der Haupteinheit angeordneten Steuereinheit aufweist und alle diese Bauteile von einer Bodenplatte und einem Deckel umschlossen sind, dass die Steuereinheit auf der über einem Boden befindlichen Bodenplatte angeordnet ist und dass die Mikroskop-Haupteinheit auf Dämpfern installiert ist, die in der Bodenplatte vorgesehene Durchgangslöcher durchsetzen und auf dem Boden ruhen. Das Abtastelektronenmikroskop der vorliegenden Erfindung gestattet es, die Übertragung von durch das Kühlgebläse oder im Innern der Apparatur erzeugten Schwingungen auf die Mikroskop-Haupteinheit zu verhindern und Betrachtungsbilder hoher Auflösung zu erzielen.