Aktivierung von Graphen-Pufferschichten auf Siliciumcarbid

摘要

Ein Verfahren zum elektrischen Aktivieren einer Struktur, die eine oder mehrere Graphenschichten aufweist, die auf einer Siliciumcarbidschicht gebilden Oxidationsverfahren, um eine Siliciumoxidschicht zu bilden, die zwischen der Siliciumcarbidschicht und der untersten der einen oder mehreren Graphenschichten angeordnet ist, wodurch die unterste Graphenschicht elektrisch aktiviert wird.