摘要 |
[Aufgabe] Es ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen Vakuumkondensator zu schaffen, bei dem ein Vakuumzustand einer Vakuumkammer ohne einen Faltenbalg usw. aufrechterhalten wird und dessen Kapazität leicht einstellbar ist und bei dem eine Abnahme der Lebensdauer verringert ist. [Mittel zur Lösung] Eine feststehende Elektrode 4 ist gebildet, indem mehrere flache Elektrodenelemente 5 in Schichten mit einem bestimmten Abstand in einer axialen Richtung einer Vakuumkammer 1b in der Vakuumkammer 1b angeordnet sind. Eine bewegbare Elektrode 7 ist eine Elektrode, die gebildet ist, indem meheinem bestimmten Abstand an einer bewegbaren Elektrodenwelle 9 in dem Vakuumgehäuse 1 gebildet sind, und durch eine Drehung der bewegbaren Elektrodenwelle 9 wird das jeweilige Elektrodenelement 8 der bewegbaren Elektrode 7 in eine Lücke zwischen den Elektrodenelementen 5 der feststehenden Elektrode 4 eingefügt und aus dieser herausgezogen, und es überlagert das Elektrodenelement 5 der feststehenden Elektrode 4 alternierend, wobei das jeweilige Elektrodenelement 8 der bewegbaren Elektrode 7 mit den Elektrodenelementen 5 der feststehenden Elektrode 4 nicht in Kontakt steht. Eine Aufnahmeeinheit 12 für einen magnetischen Fluss ist an der bewegbaren Elektrodenwelle 9 an einer Seite eines Dichtungselements 3 in dem Vakuumgehäuse 1 fixiert, und eine Kapazitätssteuereinheit 14, die eine Erzeugungseinheit 13 für einen magnetischen Fluss aufweist, ist außerhalb des Dichtungselements 3 drehbar gelagert. Indem durch ein Drehen der Kapazitätssteuereinheit 14 auch die Aufnahmeeinheit 12 für den magnetischen Fluss durch eine magnetische Anziehung gedreht wird, wird eine Überlagerungsfläche zwischen der bewegbaren Elektrode 7 und der feststehenden Elektrode 4 verändert, wodurch eine Kapazitätseinstellung ausgeführt wird.
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