Schaltungsanordnung mit einer Mehrzahl von On-Chip-Überwachungsschaltkreisen und einem Steuerungsschaltkreis und dazugehöriges Verfahren

摘要

In verschiedenen Ausführungsbeispielen wird eine Schaltungsanordnung (400) bereitgestellt, welche eine Mehrzahl von On-Chip-Überwachungsschaltkreisen (402, 404, 408, 410) und eine Steuerungseinrichtung (406) aufweist. Jeder von der Mehrzahl der On-Chip-Überwachungsschaltkreise (402, 404, 408, 410) ist eingerichtet, einen Parameter eines Halbleiterchips zu messen. Die Steuerungseinrichtung (406) ist an die Mehrzahl der On-Chip-Überwachungsschaltkreise (402, 404, 408, 410) gekoppelt. Die Steuerungseinrichtung (406) ist eingerichtet, ein Messergebnis von mindestens einem von der Mehrzahl der On-Chip-Überwachungsschaltkreise (402, 404, 408, 410) zu erhalten und eine Kalibration eines anderen von der der Mehrzahl der On-Chip-Überwachungsschaltkreise (402, 404, 408, 410) in Übereinstimmung mit dem Messergebnis zu steuern.