发明名称 真空薄膜电阻测试仪
摘要 本实用新型涉及一种测试仪,特别涉及一种真空薄膜电阻测试仪。由玻璃罩、四探针组件、加热器、电学组合箱、气压表、底座和真空泵组成,其特征是:底座上有玻璃罩和气压表,在玻璃罩内有四探针组件和加热器,电学组合箱和底座相连,真空泵和和底座相连。由于采用上述技术方案,本实用新型所具有的优点和积极效果是:测量精度高,操作简单。
申请公布号 CN202471834U 申请公布日期 2012.10.03
申请号 CN201120579576.X 申请日期 2011.12.26
申请人 盐城师范学院 发明人 李俊生
分类号 G01R27/02(2006.01)I 主分类号 G01R27/02(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 一种真空薄膜电阻测试仪,由玻璃罩、四探针组件、加热器、电学组合箱、气压表、底座和真空泵组成,其特征是:底座(6)上有玻璃罩(1)和气压表(5),在玻璃罩(1)内有四探针组件(2)和加热器(3),电学组合箱(4)和底座(6)相连,真空泵(7)和和底座(6)相连。
地址 224051 江苏省盐城市希望大道