一种异型多晶石墨加热板

摘要

本实用新型提出一种异型多晶石墨加热板，包括两块顶前大加热板、两块顶后小加热板和一块U形加热板装配而成，其特征在于所述顶前大加热板与所述顶后小加热板相接位置的加热板加厚、加宽。本实用新型通过加大顶部加热板局部的宽度或厚度，减小此局部位置的发热功率，使整个加热体系的发热功率趋于均匀化，改善硅料融化及长晶阶段水平方向的各个位置状态一致性。

主权项

一种异型多晶石墨加热板，包括两块顶前大加热板、两块顶后小加热板和一块U形加热板装配而成，其特征在于所述顶前大加热板与所述顶后小加热板相接位置的加热板加厚、加宽。