发明名称 多模垂直腔表面发射激光器阵列
摘要 本发明的各种实施例是针对单片VCSEL阵列的,其中每个VCSEL可以被配置成在不同波长发射激光。在一个实施例中,一种单片表面发射激光器阵列包括:反射层;发光层(102);以及光栅层(112),其被配置成具有两个或更多个非周期性亚波长光栅。每个光栅被配置成与反射器形成谐振腔,并且每个光栅被配置成具有光栅图案,所述光栅图案对一个或多个内部腔模式进行整形并且对发射通过所述光栅的一个或多个外部横模进行整形。
申请公布号 CN102714396A 申请公布日期 2012.10.03
申请号 CN201080062576.0 申请日期 2010.01.29
申请人 惠普发展公司,有限责任合伙企业 发明人 D.A.法塔尔;M.菲奥伦蒂诺;R.G.博索莱尔
分类号 H01S5/183(2006.01)I;H01S5/187(2006.01)I;H01S5/18(2006.01)I 主分类号 H01S5/183(2006.01)I
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人 马永利;李家麟
主权项 一种单片表面发射激光器阵列,包括:反射层;发光层(102);以及光栅层(112),其被配置成具有两个或更多个非周期性亚波长光栅,其中每个光栅被配置成与反射器形成谐振腔,并且每个光栅被配置成具有光栅图案,所述光栅图案对一个或多个内部腔模式进行整形并且对发射通过所述光栅的一个或多个外部横模进行整形。
地址 美国德克萨斯州