控制集成电路制造程序的结果参数的方法

摘要

一种控制集成电路制造程序的结果参数的方法。首先取得一制程的与该结果参数相关的至少一第1变量的数值，再利用此第1变量与结果参数的关系式，由第1变量的数值计算结果参数的预估值与目标植之间的差值。接着对具有与该结果参数相关的至少一第2变量的一后续制程进行修正操作，其包括依据前述差值及第2变量与结果参数的关系式，控制该后续制程以调整第2变量，藉由第2变量对该结果参数的影响来缩减该差值。上述至少一第1变量及至少一第2变量包括二或更多种不同的物理量。

主权项

一种控制集成电路制造程序的结果参数的方法，该集成电路制造程序中有N个制程与该结果参数相关，其中第i制程包括与该结果参数相关的至少一第i变量，任一第i变量有一标准值Vi‑0，且与该结果参数之间有一关系式，这些变量包括二或更多种不同的物理量，而在每一个变量皆具有其标准值的理想状况下，该结果参数会具有一目标值P0，该方法包括：令j＝k(1≤k≤N‑1)，且预估的一累积参数偏差值ΔPC＝0；a.取得第j制程的第j变量的数值Vj‑r；b.计算Vj‑r与Vj‑0的差值ΔVj‑r；c.利用第j变量与该结果参数的关系式，由ΔVj‑r计算该结果参数的一预估变化值ΔPj，并将ΔPj累加到ΔPC上；d.利用第j+1变量与结果参数的关系式，由ΔPC推算可补偿ΔPC的第j+1变数的修正值ΔV(j+1)‑d，其中，根据该差值ΔVj‑r和修正值ΔV(j+1)‑d控制第j+1制程以调整其变量的值，以藉由第j+1制程的变量对该结果参数的影响来缩减该差值ΔVj‑r；e.将j值加1；以及如果k≠N‑1，即重复依序进行上述步骤a‑e至少一轮，直到j＝N即结束。