一种微悬臂梁探针二阶共振激发装置

摘要

一种微悬臂梁探针二阶共振激发装置，属于微机电系统技术领域。装置包括一个由导电材料构成的微悬臂梁底座，一个与微悬臂梁底座一体的、同材料的微悬臂梁探针和与微悬臂梁底座平行放置的共面电极；共面电极由一对在同一平面上的、由相同材料构成的子电极组成。在微悬臂梁底座上施加频率等同于微悬臂梁探针二阶共振频率的正弦电信号，同时在两个子电极上分别施加正、负直流偏压，在正弦电信号和正、负直流偏压的共同作用下，形成两个子电极对微悬臂梁探针的周期性电场力，电场力在探针上形成周期性扭力，从而实现微悬臂梁探针二阶共振的有效激发。本发明有效解决了微悬臂梁探针二阶共振难以激发的问题，对微悬臂梁的应用和研究具有重要的价值。

主权项

一种微悬臂梁探针二阶共振激发装置，其特征在于，装置包括一个由导电材料构成的微悬臂梁底座，一个与微悬臂梁底座一体的、同材料的微悬臂梁探针，一个与微悬臂梁底座平行放置的共面电极；所述的共面电极由一对在同一平面上的、由相同材料构成的子电极组成。