发光器件及其制造方法

摘要

虽然作为选择性地形成高分子形式有机化合物膜的一种方法的喷墨方法能够在一个步骤中涂敷分割用来发射3种(R、G、B)光的有机化合物，但成膜精度很差，难以控制此方法，因而达不到均匀性，且构造易于弥散。相反，根据本发明，用涂敷方法，包含高分子形式材料的膜被形成在连接到薄膜晶体管的下电极的整个表面上，然后用等离子体腐蚀方法对包含高分子形式材料的膜进行腐蚀，从而能够选择性地形成高分子形式材料层。而且，由用来进行白色发光或单色发光的材料构成了有机化合物层，并与颜色改变层或成色层组合，从而实现了全色形成。

主权项

一种制造发光器件的方法，所述方法包括：在第一衬底上形成第一电极；通过涂敷方法在所述第一电极上形成包含有机化合物的膜；通过等离子腐蚀选择性地腐蚀包含所述有机化合物的所述膜；在包含所述有机化合物的所述膜上选择性地形成第二电极。