液体材料的涂布方法、涂布装置以及程序

摘要

本发明提供一种可消除凸块非均等地配置时渗透度的差异、或伴随喷嘴方向转换的速度差所引起的内圆角形状的紊乱，并将内圆角形状保持为固定的涂布方法、装置以及程序。液体材料的涂布方法，制作期望的涂布图案，一面使喷嘴与工件相对移动、一面从喷嘴喷出液体材料，并利用毛细管现象，将液体材料填充于基板与经由3个以上的凸块而载置在基板上的工件之间的间隙，所述液体材料的涂布方法的特征在于，当凸块非均等地配置时，设定所述涂布图案中每单位面积的供给量，使得相比于与凸块聚集度低的区域邻接的涂布区域的供给量，与凸块聚集度高的区域邻接的涂布区域的供给量变多。

主权项

一种液体材料的涂布方法，制作期望的涂布图案，一面使喷嘴与工件相对移动、一面从喷嘴喷出液体材料，并利用毛细管现象，将液体材料填充于基板与经由3个以上的凸块而载置在基板上的工件之间的间隙，所述液体材料的涂布方法的特征在于，当凸块非均等地配置时，设定所述涂布图案中每单位面积的供给量，使得相比于与凸块聚集度低的区域邻接的涂布区域的供给量，与凸块聚集度高的区域邻接的涂布区域的供给量变多。